三豐WLI-Unit白光干涉光學單元顯微鏡 , 三豐 WLI-Unit-4nm非接觸式3D表面形狀測量輪廓測量顯微鏡原廠發貨




三豐WLI-Unit白光干涉光學單元顯微鏡 , 三豐 WLI-Unit-4nm非接觸式3D表面形狀測量輪廓測量顯微鏡原廠發貨
產品特點與優白光干涉光學顯微
● 實現非接觸式3D表面形狀測量和輪廓測量
可利用白光干涉原理實現非接觸式高精度細微表面性狀測量
(例如:3D形狀測量、3D粗糙度測量)
● 不依賴于光學倍率的高度測量精度
即使是低倍率鏡頭,也可使用Z向高分辨力進行測量
● 高縱橫比測量
不依賴于光學系統的NA進行檢測,支持高縱橫比形狀測量
● 抗干擾震動的高穩定性
● 小型輕便
三豐WLI-Unit白光干涉光學單元顯微鏡 , 三豐 WLI-Unit-4nm非接觸式3D表面形狀測量輪廓測量顯微鏡原廠發貨
產品陣容
型號 Z向移動范圍 Z向分辨力
WLI-Unit-003 8000μm -
WLI-Unit-005 8000μm 4nm
WLI-Unit-010 8000μm 4nm